介绍: 本方案为***半导体气体项目压缩机安装方案,共包括供气压缩机(RC0500)、氮气压缩机(RC3700)、RC0590(增压空压机)、RC2600(主氧压机)4台压缩机的安装。由于目前图纸资料不全,本方案有待图纸完全后进一步完善。