5.4自燃物质(Pyrophoric material):54.4℃以下在空气中可以自燃的化学品。
5.5易燃液体(Flammable liquid):闪点小于37.8℃(100F)之液体。
5.6游离辐射(lonizing radiation):a、β、v粒子，X射线，中子，高速离子，高速质子等所有在人体器官内可产生离子之粒子或射线。
5.7非游离辐射(Non-ionizing radiation):电磁波长在100nm以上者，包括普通电频、微波、红外线、紫外线及可见光等。
5.8质量平衡(Mass balance):输入与输出的质量流率定性(或定量)平衡。
5.9灾祸(Mishap):对人体造成死亡、伤害、职业病或对设备、财产、环境造成损失的未预计的或一系列的事件(events)。
5.10职业曝露浓度极限(Occupational exposurelimitsOELs):以一天工作8小时为计算基础。PELTLV等皆属于职业曝露浓度极限定义之专业名词。不同国家对PEL等的定义之标准可能不一致。
5.11生殖毒害品(Reproductive toxicant):已许实或怀疑对胎产生畸形危险，或对胚胎发育及人体生殖功能有明显负面影响的化学物质。
5.12风险(Risk):以危害严重性和危害机率表示发生灾难的可能性。
5.13速度压力(Velocity pressureVP):使空气谏度从赛到要求的速度所需要的压力值。VP和空气流的动能成上比。
5.14失效也是安全的(Fail Safe):一种设计，当系统中任何组件失效时，不可造成危险的升级。比如:一个具有失效也是安全设计的温度控制仪，如果失效，会立即停止制程，但同时还可以指示实际温度值。
5.15危害性制程物料(Hazardous Production Material.HPM):一种固体、流体或气体，其危险程度依NFPA704标准之等级归类在健康危害、易燃性或反应性为3或4，直接用干研究、实验室或生产制程者，目其最终产品不具任何危害性。
5.16无线电频率(Radio FrequencyRF):频率范围由3KHz到300GHZ的电磁波。微波是频率300MHz到300GHZ之电磁波。
5.17连锁(lnterlocks):硬件连锁一一种由电气机械组件、电缆线或光连结，已经程序设定好的机械控制电路。当电路被切断时，最终的控制部份无法操作。软件连锁一计算器控制程序。在其支配之下，装置可或不许被人操作。任何涉及不同程度的安全，软件安全连锁需要硬件安全连锁作支持。
5.18 物质安全资料表(MaterialSafetyDataSheetsMSDS:书面或印制的危害物质之资料，它是依照29CFR1910.1200(OSHA格式20)之规定制作的。
6.安全理念(SAFETY PHILOSOPHY)
6.1在设备生命周期(安装、操作、保养及废弃处置)中，对其可能发生的潜在安全及卫生危害进行消除，或通过防护措施来减少这种危害。
62在半导体制程设备设计、制造以及评估过程中，必须运用本标准来减少重新设计或翻新带来的破坏性后果。
6.3必须考虑合乎工业、建筑、电气、消防标准及政府法规之需要。
6.4 设备设计时应该符合规范要求、工业标准、本标准以及良好的工程和制造规范。
6.5任何可预见的失效或操作错误而导致人员危害曝露、广务设施危害曝露或社区危害曝露危害，以及导致死亡、重大伤害或重大设备损失的现象都是绝对不允许的。
6.6设备必须有“失效也安全”(FAIL-SAFE)或“故障容许度”(FAULT-TOLERANT)之设计。
6.7设备组件及配件都应该符合设备制造商提供的等级级别或标准规格。
6.8 设备设计初期，为鉴别和评估潜在危害，应该进行危害分析。当设计成熟后，危害分析结果应该更新。
6.9危害分析应该考量:设备制程或应用、各个制程的危害、可能的失效模式、灾害发生的可能性以及严重性、危害曝露人员的专业水平和曝露频率、操作和保养的频率与复杂性、关键安全部件
6.10控制危害的各种方法的选择顺序如下:
设计时将之消除危害
使用安全设施进行防护-工程控制
提供安全警告设施-工程控制
提供危害警告标签-管理控制
训练-管理控制
其他管理控制
以上所有方法的组合
6.11此准则只是半导体设备设计时的最低考量。
7.一般准则(GENERAL PROVISIONS)
7.1设备应符合一般安全规范，此准则只是设备之采购标准规范。次标准只是提供给用户采购符合SEMI S2的设备规范。若需要超出此准则，则由使用者与厂商另行书面订定之。
7.2设备制造商应保证设备符合当地之有效法律及规定。需要经政府机构许可的设备，必须通过当地政府办理许可证。
7.3设备供应商应该提供给用户指定的代表来及时更新有关设备最新发现之危害因子或安全防护措施升级方案。
7.4 设备操作、维护使用的工具及附件必须由设备供应商提供给用户或者明确其规格。
8.评估过程(EVALUATION PROCESS))
8.1评估方应该按照比标准对设备进行评估并写出书面报告。内容包括手册(96部分)和具体设计部分(本标准第10至第27部分)。只有当使用到附录时，附录才算作报告的一部分。
8.2对于每个部分，评估报告皆应叙述下列项目并提供原理:
符合证据:设备符合本部分标准证据
不符合证据:设备不符合本部分标准证据
不适用:本部分不适用于此设备证据
8.3证明无重大安全危险的风险评估结果可以作为设备满足标准的一种证据。
8.4评估报告还应包括其他信息:制造商、设备序列号、设备评估日期、设备构造、关键冬示以及评估方对设备合格的叙述。
8.5提供给评估方的信息:一般信息:安全设施功能、危害分析、人因工程、关键安全部件清单、火灾危险评估、测试结果、设计规格等。工业卫生信息:排气、化学品目录及危害分析、游离辐射、非游离辐射、激光危害、噪音。
Note以上项目在本标准中为工业卫生范畴。