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微电子工业洁净厂房的设计探讨

  • 资料大小:1.5 MB
  • 运行环境:NT/2000/XP/2003/Vista
  • 资料语言:简体中文
  • 资料评级
  • 授权形式:资料共享
  • 更新时间:2012-07-15 10:36
  • 发布作者:三颗猫饼儿
  • 插件情况 无插件,请放心使用
  • 文件类型 RAR
  • 解压密码:gc5.com
  • 安全检测 瑞星 江民 卡巴斯基 金山
介绍: 微电子工业的飞速发展,推动了洁净室设计技术的发展,同时对洁净室的设计提出了更高的要求,微电子工业洁净厂房的设计是一项综合技术,只有充分了解微电子工业洁净厂房的设计特点,做到设计合理,才能做出优秀的项目。论文以微电子工业洁净厂房的设计为研究内容,具有重要的现实意义和很大的研究价值。
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微电子工业洁净厂房的设计探讨
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