介绍: 微电子工业的飞速发展,推动了洁净室设计技术的发展,同时对洁净室的设计提出了更高的要求,微电子工业洁净厂房的设计是一项综合技术,只有充分了解微电子工业洁净厂房的设计特点,做到设计合理,才能做出优秀的项目。论文以微电子工业洁净厂房的设计为研究内容,具有重要的现实意义和很大的研究价值。