介绍: 本标准规定了半导体设施接口技术文件编写的基本要求和格式。本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。 发布日期: 1995-01-02 实施日期: 1996-08-01 首发日期: 1995-12-22 复审日期: 2004-10-14