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电子行业超纯水技术

水处理技术:典型工艺流程

预处理系统→反渗透系统→中间→粗混合床→精混合床→纯→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密→用水对象 (≥18MΩ.CM)


传统工艺流程

预处理→反渗透→中间→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密→用水对象(≥18MΩ.CM)

最新工艺流程

1、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密→用水对象(≥17MΩ.CM)

2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水终端(≥15MΩ.CM)

处理后水质标准

经过高纯水除盐设备后,出水水质可以满足显像管、液晶显示器、 集成电路用水标准。 国家电子级纯水标准、 美国SEMI标准。

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