近年来兴起的低温等离子体催化(nonthermalplasmacatalysis)技术，是目前世界公认的治理低浓度废气的有效方法之一，并在世界范Χ内得到了广泛的研究和发展，在实验和机理等方面取得了许多重要的结果。低温等离子体催化主要指的是等离子体多相催化，即在等离子体区，电极材料、放电反应器器壁涂有催化剂及电极间内置催化剂对等离子体化学反应的催化作用。但沿着气流方向的等离子体余辉区(afterglow)、产物收集区内，富集了大量的高活性粒子，主要是长寿命的自由基等，因此，在这些区域内置催化剂，也可以起到一定的催化作用。
低温等离子体催化技术治理有害气体是新兴的技术，本文介绍的几种反应器是现在国内外研究比较热门并取得了显著的成果。但大部分工作还处于实验室研究阶段。目前，对等离子体．催化体系的协同作用机理的认识还很肤浅，国内外有关这方面的研究报道甚少。今后的努力方向是加强理论研究和使其尽快转化为工业应用，创造经济效益。因此，等离子体与催化剂相结合的新型反应器的设计尤为重要。因为等离子体多相催化作用在等离子区、余辉区、产物收集区均可能产生，所以针对具体的研究对象，需对各区的等离子体催化作用进行优化。这与等离子体反应器的设计都是紧密相关的。