介绍: 本标准规定了单晶硅生长用石英坩埚的产品分类与标记、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和储存。 本标准适用于用高纯石英(二氧化硅)做原料,采用电弧法工艺生产,应用于直接法生长单晶硅材料的石英坩埚。 发布日期: 2007-05-29 实施日期: 2007-11-01