介绍: 本书作者结合自己多年在涂层领域的研究与应用成果,对硬质涂层与超硬涂层进行了全面的介绍:硬质与超硬涂层的定义、分类、研究现状及涂层的特殊性;常见硬质与超硬涂层的制备方法,包括真空蒸镀、磁控溅射、离子镀、离子束辅助沉积、分子束外延制备涂层的基本原理和常见的实验装置;一些常见的金属氮化物、碳化物、硼化物及氧化物等硬质涂层和金刚石、类金刚石、立方氮化硼、氮化碳、硼碳氮、纳米多层结构和纳米晶复合涂层等超硬涂层的结构、性能和制备工艺;硬质与超硬涂层的增韧技术;硬质与超硬涂层的厚度、结构、成分及主要性能如结合强度、硬度、断裂韧性、耐磨性、耐腐蚀性、耐热性等表征方法。 本书内容丰富,技术先进,可供从事涂层研究领域的科研人员和工程技术人员学习参考,也可作为高等院校相关专业研究生、本科生的教学参考书。