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微电子洁净厂房运行与管理课件

  • 资料大小:16.5 MB
  • 运行环境:NT/2000/XP/2003/Vista
  • 资料语言:简体中文
  • 资料评级
  • 授权形式:资料共享
  • 更新时间:2012-07-15 10:57
  • 发布作者:三颗猫饼儿
  • 插件情况 无插件,请放心使用
  • 文件类型 RAR
  • 解压密码:gc5.com
  • 安全检测 瑞星 江民 卡巴斯基 金山
微电子洁净厂房运行与管理课件
介绍: 洁净室---CLEAN ROOM 空气悬浮粒子浓度受控的房间。 它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。 洁净区---Clean zone 空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。 洁净区可以是开放式或封闭式。
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微电子洁净厂房运行与管理课件
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