半导体生产用高纯气体供应系统PDF - 土木工程网

半导体生产用高纯气体供应系统PDF

资料大小：647 KB
运行环境：NT/2000/XP/2003/Vista
资料语言：简体中文
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授权形式：资料共享
更新时间：2011-01-15 11:50
发布作者：青青369
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文件类型： RAR
解压密码：gc5.com
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介绍：本文简介半导体用高纯气的种类、品质要求和供应系统，时以超大规模集成电路为代表的半导体高纯气的制取、纯化和高纯气配管技术进行了介绍，可供从事高纯气供气系统设计、施工和运营人员参考。

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